表面洗浄/改質用UV照射装置
超高圧水銀ランプを使用したUV光源
空冷式エキシマ紫外線照射ユニット
コンパクト設計
オリジナルの細管Xeエキシマランプを新開発の空冷式灯具に搭載し、非常にシンプルなユニット構成を実現しました。
ラインの僅かなスペースに設置可能であるとともに、メンテナンスも大変容易です。
ランプ収納面積が小さいため、必要N2量が少なく、ユーティリティの面でも優れています。
長寿命
細管エキシマランプは寿命特性にすぐれており、2000時間においても照度維持率70%以上を保持します。
拡張性
ランプ長、使用灯数の変化によって、幅広い照射エリアに対応いたします。
また、高出力が得られる直接照射タイプへの展開も可能です。
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| 主な仕様 | |
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| 主波長 | 172nm |
| 有効発光長 | 276 / 580 / 1130 / 1530 mm |
| 窓面直下照度 | 20mW/cm2以上 |
| 点灯 | 瞬時点灯 / 点滅 |