UV照射装置

ＵＶランプ

照射装置に搭載されているＵＶランプは用途毎に波長が異なります。

弊社では東芝ライテック製をはじめとした各種ＵＶ光源を用意しています。

UVランプ種類

　　　　　　　　　

紫外線照射装置は高圧水銀ランプ、メタルハライドランプが使用されますが、他に紫外線を出すランプとして下記の種類があります

　　　　　　
ランプ種類 説明
低圧水銀ランプ 主波長254nmとした殺菌、主に表面処理に使用される
高圧水銀ランプ UV硬化等に使われる主波長365nmとしたランプ
瞬時点灯式高圧水銀ランプ ランプ点灯、再点灯を瞬時に行えるランプ
超高圧水銀ランプ 小面積、高精度を得意とするスポット用ランプ
メタルハライドランプ 高圧水銀ランプより広範囲なスペクトルをもつＵＶランプ
キセノンランプ 太陽光スペクトルに近似した波長をもつランプ
Black Light Blueランプ ブラックライトと呼ばれる蛍光灯タイプのランプ
ケミカルランプ 殺菌、捕虫等に使われる蛍光灯タイプのランプ
蛍光管型紫外線ランプ BLBより紫外域スペクトルを増強したランプ
エキシマランプ 主波長172nmで洗浄、改質に使用されるランプ
光反応用ランプ 光反応により化学合成を行うランプ
   

高圧ＵＶランプ

　
高圧水銀ランプ 高圧UVランプは、一重管式でアーク放電長が長く、紫外線硬化用として使用されています。
主に高圧水銀ランプとメタルハライドランプがあり、特殊な波長を出すランプも用意しています。

超高圧ＵＶランプ

　
超高圧水銀ランプ 超高圧水銀ランプは、半導体露光装置としての光源としてフォトリソグラフィ分野、電子部品等の小面積のUV硬化、接着などに使用されています。

低圧UVランプ

低圧水銀ランプ 低圧UVランプは主に波長185nm、254nmを放出するＵＶランプです。 このランプは光洗浄、光アッシング等強力な紫外線を必要とする用途に最適な光源です。

光化学反応用ランプ

光化学反応用ランプ 薬品・半導体製造用超純水処理など多くの分野で光ニトロソ化反応・塩素化反応・光重合・光分解などの原料生産プラントに使用されております。

エキシマランプ

エキシマランプ エキシマランプは真空紫外光（VUV)を発生します。高エネルギーの光は、有機物の分子結合を切断し、効率よく表面洗浄を行うことができます。